[发明专利]表面特性检查方法和表面特性检查装置

摘要

本发明提供一种表面特性检查方法，能够通过使输出电压增大来高精度地检查实施了表面处理的处理材料的表面处理状态，该表面处理是通过渗碳淬火、氮化处理等热处理、喷丸处理来进行的表面处理。设定表面特性检查装置(1)的交流桥电路(20)的电阻(R1)与电阻(R2)的电阻比的电阻比设定工序包括以下工序：在基准检测器(22)和检查检测器(23)配置未进行表面处理的基准检体(S)，一边改变分配比(γ)一边测定第一设定用输出信号；在基准检测器(22)配置基准检体(S)，在检查检测器(23)配置实施了表面处理的设定用检体，一边改变电阻比一边测定第二设定用输出信号；针对各对应的电阻比计算第一设定用输出信号与第二设定用输出信号的差值；以及基于使差值的绝对值最大的电阻比来设定电阻比。

主权项

1.一种表面特性检查方法，用于检查被实施了表面处理的被检体的表面特性，所述表面特性检查方法的特征在于，包括预备表面特性检查装置的表面特性检查装置准备工序，所述表面特性检查装置具备：交流桥电路；交流电源，其向所述交流桥电路供给交流电力；以及评价装置，其基于来自所述交流桥电路的输出信号来评价被检体的表面特性，其中，所述交流桥电路具备：可变电阻，其以第一电阻与第二电阻的电阻比可变的方式构成；检查检测器，其具有能够激励交流磁性的线圈，且形成为能够将所述线圈以在被检体激励出涡电流的方式配置；以及基准检测器，将与被检体相同构造的基准检体配置于所述基准检测器，所述基准检测器检测成为与来自所述检查检测器的输出进行比较的基准的基准状态，其中，所述第一电阻、所述第二电阻、所述基准检测器以及所述检查检测器构成桥电路，所述表面特性检查方法还包括以下工序：电阻比设定工序，设定所述第一电阻与所述第二电阻的电阻比；检查信号获取工序，向所述交流桥电路供给交流电力，获取在所述检查检测器正在检测所述被检体的电磁特性并且所述基准检测器正在检测基准状态的状态下的、来自所述交流桥电路的输出信号；以及评价工序，将在所述检查信号获取工序中获取到的输出信号与规定的阈值进行比较，来评价所述被检体的表面特性，其中，所述电阻比设定工序包括以下工序：第一信号获取工序，在所述基准检测器和所述检查检测器分别配置未进行表面处理的基准检体，针对多个电阻比获取第一设定用输出信号；第二信号获取工序，在所述基准检测器配置未进行表面处理的基准检体，在所述检查检测器配置实施了表面处理的设定用检体，针对多个电阻比获取第二设定用输出信号；以及电阻比决定工序，基于在所述第一信号获取工序中获取到的第一设定用输出信号和在所述第二信号获取工序中获取到的第二设定用输出信号，来决定在所述检查信号获取工序中设定的电阻比。