[发明专利]用于力传感器的埋入式腔体感测管芯膜片止动件在审
| 申请号： | 201780062507.1 | 申请日： | 2017-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN109804231A | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 理查德·韦德;阿利斯泰尔·大卫·布兰得利;理查德·艾伦·戴维斯;贾森·丹尼斯·帕奇 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01L19/06 | 分类号： | G01L19/06 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种压力传感器，所述压力传感器可包括：第一晶片，所述第一晶片包括形成在其上的多个凹槽；第二晶片，所述第二晶片在所述多个凹槽上方粘合到所述第一晶片，其中所述第二晶片包括由设置在每个凹槽上方的所述第二晶片的区域限定的多个感测膜片，并且其中所述每个凹槽在所述第一晶片和所述第二晶片之间形成腔体；由每个感测膜片支撑的一个或多个感测元件，其中至少一个感测膜片被构造成接触相应腔体的表面以防止所述至少一个感测膜片上的过载，并且其中当所述至少一个感测膜片与所述相应腔体的所述表面接触时，所述至少一个感测膜片上的所述一个或多个感测元件继续提供压力指示。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 感测膜 腔体 压力传感器 感测元件 感测管芯 继续提供 力传感器 区域限定 压力指示 埋入式 止动件 粘合 过载 膜片 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器(100)，包括：第一晶片(102)，所述第一晶片包括形成在其上的多个凹槽(104)；第二晶片(106)，所述第二晶片在所述多个凹槽(104)上方粘合到所述第一晶片(102)，其中所述第二晶片(106)包括多个感测膜片(116)，其中所述多个感测膜片中的每个感测膜片(116)由设置在所述多个凹槽中的每个凹槽(104)上方的所述第二晶片(106)的区域限定，并且其中所述多个凹槽中的所述每个凹槽(104)在所述第一晶片(102)和所述第二晶片(106)之间形成腔体；一个或多个感测元件(110)，所述一个或多个感测元件由所述多个感测膜片中的每个感测膜片(116)支撑，其中所述多个感测膜片中的至少一个感测膜片(116)被构造成响应于压力而朝向相应腔体(104)折曲，其中所述至少一个感测膜片(116)被构造成接触所述相应腔体(104)的表面以防止所述至少一个感测膜片(116)上的过载，并且其中当所述至少一个感测膜片(116)与所述相应腔体(104)的所述表面接触时，所述至少一个感测膜片(116)上的所述一个或多个感测元件(110)继续提供压力指示。
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