[发明专利]沉积设备、涂布柔性基板的方法、及具有涂层的柔性基板在审
| 申请号： | 201780062678.4 | 申请日： | 2017-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110100041A | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 埃德加·海波科恩;斯特凡·劳伦兹;斯蒂芬·海因;尼尔·莫里森;赖纳·库克拉;克里斯多夫·卡森;托马斯·德皮希 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;C23C14/56;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述一种用于涂布柔性基板(10)的沉积设备(100)。此沉积设备包括第一线轴腔室(110)，其容纳用于提供柔性基板(10)的存储线轴(112)；沉积腔室(120)，其布置于第一线轴腔室(110)下游；及第二线轴腔室(150)，其布置于沉积腔室(120)下游，且容纳用于在沉积后缠绕柔性基板(10)于其上的绕紧线轴(152)。沉积腔室(120)包括用于引导柔性基板经过多个沉积单元(121)的涂布滚筒(122)，此多个沉积单元包括具有石墨靶(125)的至少一个沉积单元(124)。进一步来说，沉积腔室(120)包括涂布处理装置(160)，配置成用以致密化沉积于柔性基板上的一层。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性基板 沉积腔室 沉积单元 沉积设备 腔室 线轴 涂布柔性 基板 沉积 容纳 涂布处理装置 存储线轴 涂布滚筒 紧线轴 石墨靶 致密化 缠绕 配置 | ||
【主权项】：
1.一种沉积设备(100)，用于沉积层于柔性基板(10)上，包括：第一线轴腔室(110)，容纳存储线轴(112)，所述存储线轴(112)用于提供所述柔性基板(10)；沉积腔室(120)，所述沉积腔室(120)布置于所述第一线轴腔室(110)下游；和第二线轴腔室(150)，所述第二线轴腔室(150)布置于所述沉积腔室(120)下游，容纳绕紧线轴(152)，所述绕紧线轴(152)用于在沉积后缠绕所述柔性基板(10)于其上；所述沉积腔室(120)包括：涂布滚筒(122)，用于引导所述柔性基板经过多个沉积单元(121)，所述多个沉积单元(121)包括至少一个沉积单元(124)，所述至少一个沉积单元(124)具有石墨靶(125)；和涂布处理装置(160)，配置成用以将沉积于所述柔性基板上的层致密化。
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