[发明专利]具有带有高电子迁移率晶体管和环形谐振器的传感器单元的检测传感器有效
申请号: | 201780063893.6 | 申请日: | 2017-10-16 |
公开(公告)号: | CN110178024B | 公开(公告)日: | 2022-12-06 |
发明(设计)人: | 文森特·奥布里;阿卜杜拉·欧加斯扎登;让-保罗·萨维斯蒂尼;保罗·沃斯;雅新·海尔法亚 | 申请(专利权)人: | 法国国家科学研究中心;佐治亚理工学院洛林分校 |
主分类号: | G01N27/414 | 分类号: | G01N27/414 |
代理公司: | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人: | 谢攀;刘继富 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于检测或测量气态或液态混合物中存在的至少一种特定成分的无线传感器,气体传感器包括具有高电子迁移率晶体管的至少一个传感器单元(1),该高电子迁移率晶体管包括源极和漏极以及插入在源极和漏极之间的栅极。具有高电子迁移率晶体管的所述至少一个传感器单元(1)与具有至少一个相应狭缝(3、3a)的至少一个开环谐振器(2、2a)相关联,并且开环谐振器连接在一方面所述至少一个传感器单元(1、1a)的漏极之间与另一方面的栅极或源极之间,传感器检测谐振强度或频率的变化,该变化作为气态或液态混合物中所述至少一种特定成分的存在和/或浓度的函数。 | ||
搜索关键词: | 具有 带有 电子 迁移率 晶体管 环形 谐振器 传感器 单元 检测 | ||
【主权项】:
1.一种用于检测或测量气态或液态混合物中存在的至少一种特定成分的无线传感器,气体传感器包括具有高电子迁移率晶体管的至少一个传感器单元(1、1a),该高电子迁移率晶体管包括源极和漏极以及插入在源极和漏极之间的栅极,其特征在于,具有高电子迁移率晶体管的所述至少一个传感器单元(1、1a)与具有至少一个相应狭缝(3、3a)的至少一个开环谐振器(2、2a)相关联,并且至少一个开环谐振器连接在一方面所述至少一个传感器单元(1、1a)的漏极之间,与另一方面的栅极或源极之间,传感器检测谐振强度或频率的变化,该变化作为气态或液态混合物中所述至少一种特定成分的存在和/或浓度的函数。
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