[发明专利]在压印光刻过程中定位基板有效
| 申请号： | 201780064029.8 | 申请日： | 2017-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN109952537B | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | R·帕特森;C·S·卡登;S·萨达姆 | 申请（专利权）人： | 分子印记公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B29C59/02;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 牛晓玲;吴鹏 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 用于定位基板的压印光刻方法包括将第一和第二基板分别支承在第一和第二卡盘顶上，将第一和第二卡盘沿横向气动地悬挂在第一和第二套管内，在第一和第二套管内沿竖向支承第一和第二卡盘，保持第一和第二卡盘分别处于第一和第二固定旋转取向，以及分别克服第一和第二竖向阻力彼此独立地沿向下方向迫压第一和第二卡盘，直到第一和第二基板的第一和第二顶面共平面，同时保持第一和第二卡盘被沿横向悬挂在第一和第二套管内并且同时保持第一和第二卡盘处于第一和第二固定旋转取向。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 光刻 过程 定位 | ||
【主权项】：
1.一种用于定位基板的压印光刻方法，所述压印光刻方法包括：将第一基板和第二基板分别支承在第一卡盘和第二卡盘顶上；将所述第一卡盘和第二卡盘分别沿横向气动地悬挂在第一套管和第二套管内；将所述第一卡盘和第二卡盘分别沿竖向支承在所述第一套管和第二套管内；保持所述第一卡盘和第二卡盘分别处于第一和第二固定旋转取向；以及分别克服第一和第二竖向阻力彼此独立地沿向下方向迫压所述第一卡盘和第二卡盘，直到所述第一基板和第二基板的第一顶面和第二顶面共平面，同时保持所述第一卡盘和第二卡盘被沿横向悬挂在所述第一套管和第二套管内并且同时保持所述第一卡盘和第二卡盘处于所述第一和第二固定旋转取向。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于分子印记公司，未经分子印记公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780064029.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
