[发明专利]打线方法与打线装置有效

专利信息
申请号: 201780064819.6 申请日: 2017-08-22
公开(公告)号: CN109844914B 公开(公告)日: 2023-04-25
发明(设计)人: 丸矢裕介;関根悠超 申请(专利权)人: 株式会社新川
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 马爽;臧建明
地址: 日本东京武藏村山市伊奈平二丁目*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明为一种打线方法及打线装置,可准确地接合多个电极。打线方法包括:准备打线装置(1)的步骤;球形成步骤,形成焊球(43);第一高度测定步骤,通过检测焊球(43)是否接地至第一电极,而测定第一电极的高度;第二高度测定步骤,通过检测焊球(43)是否接地至第二电极,而测定第二电极的高度;第一接合步骤,基于第一高度测定步骤的测定结果来控制接合工具(40)的高度,将所述焊球(43)接合至第一电极;以及第二接合步骤,基于第二高度测定步骤的测定结果来控制接合工具(40)的高度,将引线(42)接合至第二电极,以将第一电极与第二电极予以连接。
搜索关键词: 方法 线装
【主权项】:
1.一种打线方法,包括:打线装置准备步骤,准备打线装置,所述打线装置具备接合工具及接合载台,所述接合工具是以使引线插通的方式而构成,所述接合载台对包含第一电极及第二电极的工件进行固定并保持;球形成步骤,在插通于所述接合工具的引线的前端形成焊球;第一高度测定步骤,通过检测所述焊球是否接地至所述第一电极,而测定所述第一电极的高度;第二高度测定步骤,通过检测所述焊球是否接地至所述第二电极,而测定所述第二电极的高度;第一接合步骤,基于所述第一高度测定步骤的测定结果来控制所述接合工具的高度,将所述焊球接合至所述第一电极;以及第二接合步骤,基于所述第二高度测定步骤的测定结果来控制所述接合工具的高度,将所述引线接合至所述第二电极,以将所述第一电极与所述第二电极予以连接。
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