[发明专利]电机组件、光刻设备和器件制造方法有效
| 申请号： | 201780065108.0 | 申请日： | 2017-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN109844650B | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | P·J·H·杜杰森;A·F·J·德格罗特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H02K41/03;H02K16/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;崔卿虎 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了用于在驱动方向上驱动物体的电机组件，该电机组件包括：多个线性电机，每个电机被配置为在驱动方向上生成驱动力，每个线性电机包括第一电磁组件和被配置为与第一电磁组件协作的第二电磁组件，用于生成驱动力；其中第一电磁组件和第二磁性组件彼此面对并且在垂直于驱动方向的方向上在彼此之间限定间隙；第一接口，用于将第一电磁组件连接至公共构件；第二接口，用于将第二电磁组件连接至将被驱动的物体；其中第一电磁组件和第二电磁组件在垂直于驱动方向的方向上堆叠，并且其中第一接口和第二接口中的至少一个被配置为能够实现相应的第一电磁组件和第二电磁组件之间的在垂直于驱动方向的方向上的相对位移。 | ||
| 搜索关键词： | 电机 组件 光刻 设备 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于在驱动方向上驱动物体的电机组件，所述电机组件包括：多个线性电机，每个电机被配置为在所述驱动方向上生成驱动力，所述线性电机中的每个线性电机包括：第一电磁组件和被配置为与所述第一电磁组件协作的第二电磁组件，用于生成所述驱动力；其中所述第一电磁组件和所述第二磁性组件彼此面对并且在垂直于所述驱动方向的方向上在彼此之间限定间隙；第一接口，用于将所述第一电磁组件连接至公共构件；第二接口，用于将所述第二电磁组件连接至所述物体；其中所述第一电磁组件和所述第二电磁组件在垂直于所述驱动方向的方向上堆叠，并且其中所述第一接口和所述第二接口中的至少一个被配置为能够实现相应的所述第一电磁组件和所述第二电磁组件之间的在垂直于所述驱动方向的方向上的相对位移。
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