[发明专利]使用峰值力轻敲的样本的红外表征在审
| 申请号： | 201780065286.3 | 申请日： | 2017-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN110168383A | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 许晓汲;马丁·瓦格纳;苏禅敏 | 申请（专利权）人： | 布鲁克纳米公司;里海大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01Q10/06 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种使用原子力显微镜AFM以及引导至AFM的探针针尖的脉冲IR激光进行样本表征的装置和方法。所述激光脉冲与AFM的振荡驱动同步，使得脉冲与针尖/样本仅在选定(例如每隔一个)的振荡循环相互作用。并且，能够在低于50nm，甚至低于20nm的分辨率下进行纳米机械和纳米光谱测量。 | ||
| 搜索关键词： | 样本 脉冲 原子力显微镜AFM 红外表征 激光脉冲 纳米光谱 纳米机械 探针针尖 振荡驱动 振荡循环 峰值力 分辨率 针尖 激光 测量 | ||
【主权项】：
1.一种使用原子力显微镜(AFM)进行光谱测量的方法，所述方法包括以下步骤：通过振荡驱动信号来引发所述原子力显微镜的探针在原子力显微镜操作的峰值力轻敲(PFT)模式下与样本相互作用，其中，所述探针具有针尖；提供脉冲激光以产生红外脉冲；将所述红外脉冲引导至所述探针针尖；使所述红外脉冲与所述驱动信号的循环同步；以及使用检测器检测所述探针的偏转。
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