[发明专利]使用振荡模式的样本的红外光表征在审

专利信息
申请号: 201780065311.8 申请日: 2017-08-22
公开(公告)号: CN110121644A 公开(公告)日: 2019-08-13
发明(设计)人: 苏禅敏;马丁·瓦格纳;许晓汲 申请(专利权)人: 布鲁克纳米公司;里海大学
主分类号: G01N21/35 分类号: G01N21/35;G01N21/33;G01Q60/24;G01N29/12
代理公司: 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 代理人: 王达佐;王艳春
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种使用原子力显微镜(AFM)以及引导至AFM的探针针尖的脉冲红外激光进行样本表征的装置和方法。所述激光脉冲与AFM的振荡驱动同步,使得脉冲与针尖/样本仅在选定的振荡循环相互作用。AFM操作优选峰值力轻敲模式。并且,能够在低于50nm,甚至低于20nm的分辨率下进行纳米机械和纳米光谱测量。
搜索关键词: 样本 红外光 脉冲红外激光 原子力显微镜 激光脉冲 纳米光谱 纳米机械 探针针尖 振荡模式 振荡驱动 振荡循环 峰值力 分辨率 脉冲 针尖 优选 测量
【主权项】:
1.一种使用原子力显微镜(AFM)进行光谱测量的方法,所述方法包括以下步骤:通过频率低于f0的振荡驱动信号来引发所述原子力显微镜的探针与样本相互作用达多个循环,以产生瞬态探针‑样本相互作用力,其中,f0是所述探针的谐振频率;控制所述瞬态探针‑样本相互作用力;提供脉冲光源以产生具有脉冲宽度的脉冲;将所述脉冲引导至定位有所述探针的所述样本,引起诱导的样本改性,其中,所述脉冲与探针‑样本接触时间实质上一致;测量至少部分地归因于所述诱导的样本改性的探针偏转,并且使用所测量的探针偏转确定归因于所述诱导的样本改性的探针响应;以及导出所述探针响应的至少一个瞬态特性。
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