[发明专利]用于在表面上施加图案化结构的方法和系统有效
| 申请号： | 201780065557.5 | 申请日： | 2017-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN109922968B | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 加里·阿鲁季诺夫 | 申请（专利权）人： | 荷兰应用自然科学研究组织TNO |
| 主分类号： | B41M3/00 | 分类号： | B41M3/00;C23C14/04;H01L51/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 郭艳芳;王琦 |
| 地址： | 荷兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种在表面上施加图案化结构的方法包括在光源(3)与接收表面(5)之间提供包括供体材料(1a)的供体基板(1)，并通过光源(3)来提供指向供体基板(1)的光脉冲(3a)，该光脉冲(3a)被配置为使供体材料(1a)从供体基板(1)被转移到接收表面(5)上，其中，供体基板(1)包括该供体基板(1)的离散部分(2a)上的供体材料(1a)的图案(2)。供体基板(1)上的图案(2)被转移以便在接收表面(5)上形成供体材料(1a)的图案(4)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 表面上 施加 图案 结构 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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