[发明专利]音叉型振动片、音叉型振子及其制造方法在审
| 申请号： | 201780066188.1 | 申请日： | 2017-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN109891743A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 山下弘晃 | 申请（专利权）人： | 株式会社大真空 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H3/04 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 崔今花;周艳玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 对在晶圆状态下对音叉型振动片的较厚的频率调整用金属膜照射光束而进行频率粗调整时产生的在频率调整用金属膜端部上以起毛刺的状态突出的突起部分进行加压而将其压扁，由此防止上述突起部分因冲击而缺损，从而抑制频率变动。 | ||
| 搜索关键词： | 音叉型振动片 频率调整 金属膜 突起 毛刺 音叉型振子 晶圆状态 频率变动 照射光束 缺损 压扁 加压 制造 | ||
【主权项】：
1.一种音叉型振子的制造方法，其将具备基部及自该基部延伸的多个臂部的音叉型振动片接合于具有收纳部的封装体以进行安装，所述方法包括：第一步骤，在上述音叉型振动片的上述臂部的前端区域形成频率调整用金属膜；第二步骤，对上述音叉型振动片照射光束，去除上述频率调整用金属膜的一部分以调整频率；及第三步骤，对上述一部分被去除的上述频率调整用金属膜施加负载以进行加压。
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