[发明专利]具有石墨烯组件的MEMS结构在审
| 申请号： | 201780066619.4 | 申请日： | 2017-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN109890749A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | A.萨马劳;S.Y.余;F.莱尔默;G.亚马 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 毕铮;申屠伟进 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 微机电系统（MEMS）结构包括：衬底；位于衬底上方的外延多晶硅盖；限定在衬底和外延多晶硅盖之间的第一腔体部分；以及第一石墨烯组件，其具有紧邻第一腔体部分的至少一个石墨烯表面。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯 衬底 外延多晶硅 第一腔体 微机电系统 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统（MEMS）结构，包括：衬底；位于衬底上方的外延多晶硅盖；限定在衬底和外延多晶硅盖之间的第一腔体部分；以及第一石墨烯组件，其具有紧邻第一腔体部分的至少一个石墨烯表面。
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