[发明专利]用于测量气体浓度的系统、方法和计算机程序产品有效

专利信息
申请号: 201780066777.X 申请日: 2017-11-06
公开(公告)号: CN109891230B 公开(公告)日: 2021-05-14
发明(设计)人: 山中一司;赤尾慎吾;竹田宣生;辻俊宏;大泉透;塚原祐辅 申请(专利权)人: 球波株式会社
主分类号: G01N29/02 分类号: G01N29/02
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 梁丽超
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供了用于测量气体浓度的系统和方法。球传感器(2)生成包括第一频率的基波和第二频率的谐波的表面声波的准直波束,准直波束在穿过吸附目标气体的敏感膜的同时通过压电球上的轨道路径传播。温度控制单元控制球传感器(2)的球温。信号处理单元(40)将突发信号发送到球传感器(2)的传感器电极以激发准直波束,在准直波束围绕压电球传播预定匝数之后接收突发信号,并使用突发信号的波形数据,通过第一频率的延迟时间的第一相对变化和第二频率的延迟时间的第二相对变化分别计算气体浓度和球温。
搜索关键词: 用于 测量 气体 浓度 系统 方法 计算机 程序 产品
【主权项】:
1.一种用于测量气体浓度的系统,包括:球传感器,具有:压电球,传感器电极,被配置为生成包括第一频率的基波和第二频率的谐波的表面声波的准直波束,所述准直波束通过所述压电球上的轨道路径传播,和敏感膜,沉积在所述压电球上,被配置为吸附目标气体,所述敏感膜布置在所述表面声波的准直波束通过的位置;以及信号处理单元,具有:信号发生器,被配置为将突发信号发送到所述传感器电极,以激发在所述压电球周围传播的所述准直波束,信号接收器,被配置为在所述准直波束围绕所述压电球传播预定匝数之后通过所述传感器电极接收所述准直波束的突发信号,和波形数据处理器,被配置为使用所述突发信号的波形数据,分别通过所述第一频率的延迟时间的第一相对变化和所述第二频率的延迟时间的第二相对变化来计算球温和所述目标气体的气体浓度。
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