[发明专利]集成热电发电机及相关的制造方法

摘要

采用完全兼容标准前端CMOS或BiCMOS技术的工艺可以制造平面外热通量构造的集成热电发电机，如果悬挂在谷上方的平面非导电覆盖层的部分具有足够大的通孔以使各向同性的蚀刻溶液或蚀刻等离子体跨非导电覆盖层(9)的厚度穿过通孔，从而实现空隙空间。发电机还包括沉积在所述平面非导电覆盖层(9)的自由表面上、朝向相对于所述空隙空间的相对方向的顶盖层(11)，以封闭非导电覆盖层(9)的通孔(10)。还公开了一种制造平面外热通量构造的集成热电发电机的方法。

主权项

1.一种平面外热通量构造的集成热电发电机，所述发电机包括：底基板(1)；介电层(2)，沉积在所述底基板(1)的表面上且具有不均匀厚度，以便限定介电材料的丘和谷；多晶半导体的片段的限定薄膜线的交替p掺杂和n掺杂的并置片段(4，5)，在所述丘的倾斜相对侧翼上延伸，用于将在与所述发电机正交的方向上流动的热的一部分转化为电；丘顶结金属触点(6)和谷底结金属触点(7)，连接所述交替p掺杂和n掺杂的片段(4，5)的并置端，平面非导电覆盖层(9)，敷设在所述丘顶金属触点上并悬挂在所述谷之上，所述丘(3)之间的所有谷为顶部由所述非导电覆盖层(9)界定的空隙空间，其特征在于悬挂在所述谷的每个谷上的所述平面非导电覆盖层(9)的部分具有通孔(10)，所述通孔(10)与所述空隙空间连通，且足够大以使各向同性的蚀刻溶液或蚀刻等离子体跨所述非导电覆盖层(9)的厚度穿过所述通孔(10)；所述发电机还包括所述平面非导电覆盖层(9)的自由表面上沉积的朝向相对于所述空隙空间的相对方向的顶盖层(11)，以封闭所述非导电覆盖层(9)的通孔(10)。