[发明专利]气体检测传感器有效
申请号: | 201780067979.6 | 申请日: | 2017-11-02 |
公开(公告)号: | CN109906376B | 公开(公告)日: | 2021-08-10 |
发明(设计)人: | 郑广燮;慎恒范;崔栋善;尹碧娜;郑朱妍 | 申请(专利权)人: | 株式会社LG化学;高丽大学校产学协力团 |
主分类号: | G01N27/414 | 分类号: | G01N27/414;H01L29/66 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 赵丹;高世豪 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及气体检测传感器,并且根据本发明的一个方面,提供了一种气体检测传感器,其包括:基底;设置在所述基底上的栅电极;设置在所述栅电极上的绝缘层;分别设置在所述绝缘层上的源电极和漏电极;设置在所述源电极与所述漏电极之间的n型沟道;以及设置在所述n型沟道上并且设置成具有能够与目标气体分子的振动能共振的电子跃迁能的量子点层。 | ||
搜索关键词: | 气体 检测 传感器 | ||
【主权项】:
1.一种气体检测传感器,包括:基底;设置在所述基底上的栅电极;设置在所述栅电极上的绝缘层;分别设置在所述绝缘层上的源电极和漏电极;设置在所述源电极与所述漏电极之间的n型沟道;以及设置在所述n型沟道上并且设置成具有能够与目标气体分子的振动能共振的电子跃迁能的量子点层。
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