[发明专利]测量和处理从软X射线到红外波长的XUV光源的光谱的方法、设备和计算机程序在审
| 申请号： | 201780068628.7 | 申请日： | 2017-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN110062876A | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | M·巴伊拉克塔尔;弗雷德里克·比耶柯克;H·M·J·巴斯蒂亚恩斯;C·布吕内曼 | 申请（专利权）人： | 屯特大学 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01J3/18;G01J3/28 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李晔;石海霞 |
| 地址： | 荷兰恩*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种通过宽带光谱仪(1)测量和处理从软x射线到红外波长的波长范围内的从生成光的XUV源生成的光(7)的光谱的方法，其中所述处理基于评估测量的光谱的波长范围，该波长范围对比所述波长范围长的波长的高阶贡献可忽略不计。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 光谱 红外波长 软X射线 测量 计算机程序 宽带光谱仪 评估测量 高阶 光源 | ||
【主权项】：
1.一种通过宽带光谱仪(1)测量和处理从软x射线到红外波长的波长范围内的光的光谱的方法，其特征在于，所述处理包括以下步骤：(a)在测量的光谱中评估最长波长λ0，使得比所述最长波长λ0短的波长的较高衍射阶次对所述光谱的比所述最长波长λ0长的波长的那部分的贡献低于预定值。
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