[发明专利]辐射热计流体流动和温度传感器有效
| 申请号： | 201780068801.3 | 申请日： | 2017-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN109891249B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | T.罗茨尼克;S.Y.余;G.亚马 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 殷超;李建新 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 传感器包括参考辐射热计和多个感测辐射热计。每一个感测辐射热计邻近于参考辐射热计布置。每一个辐射热计包括（i）衬底，（ii）连接到衬底的盖结构，盖结构配置成限定盖结构的内表面与衬底的第一表面之间的腔体，（iii）连接衬底并且布置在腔体内的吸收器，吸收器配置成吸收腔体内的红外辐射，以及（iv）连接到吸收器并且配置成提供指示由吸收器吸收的红外辐射量的信号的读出电路。参考辐射热计的盖结构阻挡红外辐射从盖结构的外部进入腔体。每一个感测辐射热计的盖结构允许红外辐射从盖结构的外部进入腔体。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射热 流体 流动 温度传感器 | ||
【主权项】：
1.一种传感器，包括：配置成提供参考信号的参考辐射热计，所述参考辐射热计包括：具有第一表面的衬底；连接到所述衬底的盖结构，所述盖结构配置成限定所述盖结构的内表面与所述衬底的所述第一表面之间的腔体，所述盖结构配置成阻挡红外辐射从所述盖结构的外部进入所述腔体；连接到所述衬底的所述第一表面并且布置在所述腔体内的吸收器，所述吸收器配置成吸收所述腔体内的红外辐射；以及连接到所述吸收器并且配置成提供指示由所述吸收器吸收的红外辐射量的参考信号的读出电路；以及多个感测辐射热计，所述多个感测辐射热计中的每一个辐射热计邻近于所述参考辐射热计布置，并且配置成提供测量信号，所述多个感测辐射热计中的每一个辐射热计包括：具有第一表面的衬底；连接到所述衬底的盖结构，所述盖结构配置成限定所述盖结构的内表面与所述衬底的所述第一表面之间的腔体，所述盖结构配置成至少部分地允许红外辐射从所述盖结构的外部进入所述腔体；以及连接到所述衬底的所述第一表面并且布置在所述腔体内的吸收器，所述吸收器配置成吸收所述腔体内的红外辐射；以及连接到所述吸收器并且配置成提供指示由所述吸收器吸收的红外辐射量的测量信号的读出电路。
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