[发明专利]利用非球面聚焦设备和扩束器切割脆性材料的激光设备有效
| 申请号： | 201780069421.1 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN109963683B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | M·R·格林伯格;D·M·高迪奥西;J·戴勒 | 申请（专利权）人： | 相干公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/06;B23K26/073;B23K26/08;C03B33/09;B23K26/53;B23K26/0622;B23K26/066;B23K103/00 |
| 代理公司： | 余姚德盛专利代理事务所(普通合伙) 33239 | 代理人： | 周积德 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于切割脆性材料的设备包括扩束器(18)，与非球面聚焦透镜(22)、孔径(CA)和产生脉冲激光辐射束(14)的激光源(12)相结合。非球面透镜(22)和孔径(CA)将脉冲激光辐射束形成为沿着非球面聚焦透镜(22)的光轴具有均匀强度分布的细长焦点。细长焦点延伸穿过由脆性材料制成的工件(38)的整个厚度。通过沿切割线描绘光轴来切割工件(38)。脉冲激光辐射的每个脉冲或脉冲串都会在工件(38)的整个厚度上产生延伸的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 球面 聚焦 设备 扩束器 切割 脆性 材料 激光设备 | ||
【主权项】：
1.用于切割脆性材料的激光设备，该脆性材料具有入射表面和出射表面，该设备包括：激光源，提供准直的脉冲激光辐射束，所述脉冲激光辐射的脉冲持续时间小于约20皮秒，准直光束具有第一直径；非球面聚焦透镜，具有光轴和通光孔径；位于所述激光源与所述非球面聚焦透镜之间的无焦扩束器，所述无焦扩束器被布置成将准直光束从第一直径扩展到第二直径，所述第二直径大于所述非球面聚焦透镜的通光孔径，使得只有扩展的准直光束的部分在所述通光孔径内；其中，所述非球面聚焦透镜将脉冲激光辐射束的部分聚焦在所述通光孔径内，所述聚焦光束具有与光轴同轴的细长焦点，所述细长焦点沿光轴具有大致均匀的强度分布；并且其中，所述细长焦点在入射表面和出射表面之间与脆性材料重叠。
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