[发明专利]一种用于在可变尺寸基板上制作光伏组件的方法和系统在审
申请号: | 201780069672.X | 申请日: | 2017-09-19 |
公开(公告)号: | CN110140224A | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
发明(设计)人: | 加里·费伊科斯 | 申请(专利权)人: | 美德安全玻璃制造(新)私人有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67 |
代理公司: | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人: | 王闯 |
地址: | 新加坡企业*** | 国省代码: | 新加坡;SG |
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摘要: | 本发明公开了一种用于制造太阳能装置的自动化系统,自动化系统包括用于提供系统自动控制的计算机;基板吊架和连接到计算机可操作的真空腔室,真空腔室包括至少一个用于均匀加热基板的加热元件;涂覆头组件,其中包括:蒸发室,用于升华光伏材料以形成光伏材料蒸汽;与蒸发室流体耦通的膨胀室,用于接收光伏材料蒸汽,沉积腔室,用于在基板上均匀地沉积光伏材料蒸汽,计算机被配置为控制加热元件,蒸发室和基板吊架的速度,以便确定基板相对于膨胀室的位置,使得光伏材料蒸汽均匀地沉积在玻璃基板的预定部分上。 | ||
搜索关键词: | 光伏材料 基板 蒸发室 蒸汽 自动化系统 加热元件 真空腔室 膨胀室 吊架 沉积 计算机 系统自动控制 太阳能装置 玻璃基板 材料蒸汽 沉积腔室 尺寸基板 光伏组件 基板相对 均匀加热 接收光 可操作 涂覆头 可变 流体 升华 配置 制作 制造 | ||
【主权项】:
1.一种用于制造太阳能装置的自动化系统,其特征在于:该自动化系统包括:用于提供制造太阳能装置的自动控制系统的计算机;与计算机连接的可操作的基板吊架,基板吊架被配置为能将制造太阳能装置的基板紧捉住;与计算机连接的可操作的真空腔室,真空腔室包括:与计算机连接的可操作的至少一个加热元件,用于将真空腔室中基板的至少一侧均匀加热到预定的基板温度;一个涂覆头组件,涂覆头组件包括:一个与计算机连接的可操作的蒸发室,蒸发室用于升华光伏材料以形成光伏材料蒸气,一个与蒸发室流体耦合的膨胀室,膨胀室用于接收光伏材料蒸汽;一个沉积腔室,沉积腔室用于在基板均匀加热的至少一侧上均匀地沉积光伏材料蒸汽;其中,计算机被配置为能控制至少一个加热元件以确定加热速率从而用于将基板的至少一侧均匀加热到预定基板温度;计算机被配置为能控制蒸发室,以确定光伏材料的升华速率以确定待形成的光伏材料蒸汽的量;并且计算机还被配置为能控制基板载体的速度,以便确定基板相对于膨胀室的位置;从而实现控制光伏材料升华速率使得光伏材料蒸汽均匀地沉积在基板的至少一侧的预定部分上。
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H01 基本电气元件
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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