[发明专利]研磨垫及其制造方法有效
申请号: | 201780070421.3 | 申请日: | 2017-11-07 |
公开(公告)号: | CN110023034B | 公开(公告)日: | 2021-04-30 |
发明(设计)人: | 山内建树;神山三枝 | 申请(专利权)人: | 帝人富瑞特株式会社 |
主分类号: | B24B37/24 | 分类号: | B24B37/24;D04H1/4382;D04H1/541;D04H1/542;H01L21/304 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 苗堃;金世煜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的课题在于提供一种寿命长且研磨速率高、能够实现被加工物的高度的平坦性的研磨垫及其制造方法,解决方法是从含有由海成分和岛直径为10~2500nm的岛成分构成的海岛型复合纤维与粘结剂纤维的无纺布中,除去上述海成分,赋予高分子弹性体。 | ||
搜索关键词: | 研磨 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种研磨垫,其特征在于,含有纤维直径为10~2500nm的极细纤维、粘结剂纤维和高分子弹性体。
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