[发明专利]固态摄像器件及其制造方法

摘要

本技术涉及能够通过抑制反射和衍射来提高图像质量的固态摄像器件及其制造方法。所述固态摄像器件设置有：基板，其包括各个像素单元中的光电转换部；以及反射率调节层，其在入射光相对于所述基板的入射方向上设置于所述基板上，且用于调节入射光在所述基板上的反射。所述反射率调节层包括：形成在所述基板上的第一层和形成在所述第一层上的第二层，所述第一层具有设置在所述基板上的凹凸结构，并且所述凹凸结构上的凹部被填充有用于形成所述第二层的具有比所述基板的折射率低的折射率的材料，并且所述第一层的厚度是针对要接收的光的波长而被优化的厚度。本技术可以应用于摄像装置。

主权项

1.一种固态摄像器件，包括：基板，所述基板包括各个像素单元中的光电转换部；以及反射率调节层，所述反射率调节层在入射光相对于所述基板的入射方向上设置在所述基板上，用于调节所述入射光在所述基板上的反射，其中，所述反射率调节层包括：形成在所述基板上的第一层和形成在所述第一层上的第二层，所述第一层具有设置在所述基板上的凹凸结构，所述凹凸结构上的凹部被填充有用于形成所述第二层的具有比所述基板的折射率低的折射率的材料，并且所述第一层的厚度是针对要接收的光的波长而被优化的厚度。