[发明专利]超纯水制造系统以及超纯水制造方法在审
申请号: | 201780070819.7 | 申请日: | 2017-03-14 |
公开(公告)号: | CN109982976A | 公开(公告)日: | 2019-07-05 |
发明(设计)人: | 中马高明;宫崎洋一 | 申请(专利权)人: | 栗田工业株式会社 |
主分类号: | C02F1/42 | 分类号: | C02F1/42;B01J43/00;B01J45/00;B01J47/026;B01J47/04 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 陈曦;向勇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 一种超纯水制造系统,其依次包括预处理系统、一次纯水系统和二次纯水系统,一次纯水系统具备利用离子交换树脂对含硼的被处理水进行处理的离子交换装置,该离子交换装置包括:收容部,用于填充离子交换树脂;供给部,用于向收容部供给被处理水;以及排出部,用于从收容部排出处理水,在收容部中,分别将硼选择性离子交换树脂填充在供给部侧,将硼选择性离子交换树脂以外的离子交换树脂填充在排出部侧。根据该超纯水制造系统以及超纯水制造方法,能够在不对子系统施加TOC负荷的情况下,稳定地获得将硼低浓度化后的超纯水。 | ||
搜索关键词: | 离子交换树脂 超纯水制造系统 收容 超纯水 离子交换装置 一次纯水系统 被处理水 硼选择性 供给部 排出部 填充 填充离子交换树脂 预处理系统 纯水系统 处理水 排出 制造 施加 | ||
【主权项】:
1.一种超纯水制造系统,其中,所述超纯水制造系统依次包括预处理系统、一次纯水系统和二次纯水系统,所述一次纯水系统具备利用离子交换树脂对含硼的被处理水进行处理的离子交换装置,所述离子交换装置包括:收容部,用于填充离子交换树脂;供给部,用于向所述收容部供给被处理水;以及排出部,用于从所述收容部排出处理水,在所述收容部中,硼选择性离子交换树脂填充在所述供给部侧,且硼选择性离子交换树脂以外的离子交换树脂填充在所述排出部侧。
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