[发明专利]用于操作真空泵系统的方法在审
| 申请号： | 201780071741.0 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN110036200A | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 马提亚·纳尔沃尔德;迈克尔·帕永克;德克·席勒;丹尼尔·施耐登巴赫;塞巴斯提安·瓦尔策尔 | 申请（专利权）人： | 莱宝有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B49/06;F04C25/02;F04C28/08;F04C28/24 |
| 代理公司： | 北京鸿德海业知识产权代理事务所(普通合伙) 11412 | 代理人： | 王再芊 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 处理腔室(10)连接至锁止腔室(12)。提供一种真空泵系统，用于对所述锁止腔室(12)和/或所述处理腔室(10)抽真空。所述系统包括真空泵设备(18)，其包括至少一个真空泵(20、22)。所述真空泵系统还包括用于连接至所述锁止腔室(12)以及控制器(30)的阀门装置(26)。为了降噪，借由所述控制器来确定周期性发生的操作参数。借此，确定要在哪个时间点打开所述阀门，使得在打开所述阀门之前的某时间点，降低所述真空泵(20、22)中的至少一个真空泵的旋转速度。这在良好泵出时间下实现了相当大的降噪。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵系统 锁止腔 真空泵 处理腔室 控制器 时间点 阀门 降噪 真空泵设备 操作参数 阀门装置 抽真空 | ||
【主权项】：
1.一种用于操作真空泵系统的方法，所述真空泵系统用于对腔室抽真空，尤其是用于对尤其连接至处理腔室(10)的锁止腔室(12)抽真空，其中，所述真空泵系统包括：包括至少一个真空泵(20、22)的真空泵设备(18)，设置在所述真空泵设备(18)与所述腔室(12)之间的阀门装置(26)，以及控制器(30)，其中借由所述控制器(30)，确定所述真空泵系统的至少一个周期性发生的操作参数，并且在打开所述阀门装置(26)之前，暂时降低所述真空泵设备(18)的所述真空泵(20、22)中的至少一个真空泵的旋转速度。
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