[发明专利]摄像元件及摄像元件的制造方法有效

专利信息
申请号: 201780071882.2 申请日: 2017-12-26
公开(公告)号: CN109983582B 公开(公告)日: 2023-10-20
发明(设计)人: 中山智史;安藤良次 申请(专利权)人: 株式会社尼康
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 陈伟;孙明轩
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明提供一种摄像元件,其具备:第一导电类型的基板(10);第一导电类型的元件形成部(20),其设于基板上且与基板相比为轻掺杂;和多个像素部(30),其设于元件形成部上,分别具有受光元件(32)和设于与受光元件不同的区域内的第二导电类型的载流子吸收部(80),且该多个像素部排列成二维状,多个像素部中的至少一个像素部具有:第一导电类型的第一壁部(41),其以在多个像素部的排列方向上与受光元件的至少一部分重叠的方式与受光元件相比设于基板侧,且与基板相比为重掺杂;和载流子通过区域(Rcp),其在多个像素部的排列方向上未设有第一壁部。
搜索关键词: 摄像 元件 制造 方法
【主权项】:
1.一种摄像元件,其特征在于,具备:第一导电类型的基板;第一导电类型的元件形成部,其设于所述基板上且与所述基板相比为轻掺杂;和多个像素部,其设于所述元件形成部上,分别具有受光元件和设于与所述受光元件不同的区域内的第二导电类型的载流子吸收部,且该多个像素部排列成二维状,所述多个像素部中的至少一个像素部具有:第一导电类型的第一壁部,其以在所述多个像素部的排列方向上与所述受光元件的至少一部分重叠的方式与所述受光元件相比设于所述基板侧,且与所述基板相比为重掺杂;和载流子通过区域,其在所述多个像素部的排列方向上未设有所述第一壁部。
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