[发明专利]摄像元件及摄像元件的制造方法有效
申请号: | 201780071882.2 | 申请日: | 2017-12-26 |
公开(公告)号: | CN109983582B | 公开(公告)日: | 2023-10-20 |
发明(设计)人: | 中山智史;安藤良次 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 陈伟;孙明轩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供一种摄像元件,其具备:第一导电类型的基板(10);第一导电类型的元件形成部(20),其设于基板上且与基板相比为轻掺杂;和多个像素部(30),其设于元件形成部上,分别具有受光元件(32)和设于与受光元件不同的区域内的第二导电类型的载流子吸收部(80),且该多个像素部排列成二维状,多个像素部中的至少一个像素部具有:第一导电类型的第一壁部(41),其以在多个像素部的排列方向上与受光元件的至少一部分重叠的方式与受光元件相比设于基板侧,且与基板相比为重掺杂;和载流子通过区域(Rcp),其在多个像素部的排列方向上未设有第一壁部。 | ||
搜索关键词: | 摄像 元件 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种摄像元件,其特征在于,具备:第一导电类型的基板;第一导电类型的元件形成部,其设于所述基板上且与所述基板相比为轻掺杂;和多个像素部,其设于所述元件形成部上,分别具有受光元件和设于与所述受光元件不同的区域内的第二导电类型的载流子吸收部,且该多个像素部排列成二维状,所述多个像素部中的至少一个像素部具有:第一导电类型的第一壁部,其以在所述多个像素部的排列方向上与所述受光元件的至少一部分重叠的方式与所述受光元件相比设于所述基板侧,且与所述基板相比为重掺杂;和载流子通过区域,其在所述多个像素部的排列方向上未设有所述第一壁部。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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