[发明专利]用于有效率的气体分配组件冷却的具有同心或螺旋通道的双区流动冷却板设计

摘要

一种用于以冷却板冷却气体分配组件的设备和方法。冷却板具有主体，该主体具有顶表面、外周、中心、内部区域和外部区域。穿过顶表面形成的多个通道。多个通道具有第一外部通道和第一内部通道，该第一外部通道具有一个或更多个第一外部通道区段，该第一外部通道经配置而使第一冷却流体从冷却流体入口流到冷却流体出口，该第一内部通道设置在该第一外部通道与该中心之间，该第一内部通道具有一个或更多个第一内部通道区段，该第一内部通道经配置而使第二冷却流体从冷却流体入口流至冷却流体出口，其中相邻区段中的流在相反方向上。

主权项

1.一种冷却板，包括：主体，所述主体具有顶表面、外周、中心、内部区域和外部区域；以及多个通道，所述多个通道穿过所述顶表面并进入所述主体而形成，所述多个通道包含：第一外部通道，所述第一外部通道具有一个或更多个第一外部通道区段、冷却流体入口与冷却流体出口，所述冷却流体出口靠近所述外周设置，所述第一外部通道经配置而使第一冷却流体从所述冷却流体入口流至所述冷却流体出口；以及第一内部通道，所述第一内部通道设置在所述第一外部通道与所述中心之间，所述第一内部通道具有一个或更多个第一内部通道区段、内部冷却流体入口和内部冷却流体出口，所述第一内部通道经配置而使第二冷却流体从所述冷却流体入口流至所述冷却流体出口，其中相邻区段中的流在相反方向上。