[发明专利]激光加工系统和激光加工方法有效
| 申请号： | 201780073789.5 | 申请日： | 2017-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN110023027B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 柿崎弘司;若林理 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/53 | 分类号： | B23K26/53;H01L21/301 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 金玲;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 激光加工系统具有：A、波长可变激光装置，其输出脉冲激光，并且能够使脉冲激光的波长发生变化；B、光学系统，其对被加工物照射从波长可变激光装置输出的脉冲激光；C、基准波长取得部，其取得与基于被加工物的材料的光子吸收对应的基准波长；D、激光加工控制部，其对波长可变激光装置进行控制，在对被加工物实施主加工之前执行预加工，并且一边使波长可变激光装置所输出的脉冲激光的波长在包含基准波长的规定范围内变化，一边按照多个波长执行波长搜索用预加工；E、加工状态计测器，其计测按照多个波长进行的波长搜索用预加工的每个波长的加工状态；以及F、最佳波长确定部，其对每个波长的加工状态进行评价来确定用于主加工的最佳波长。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光加工系统，其向被加工物照射脉冲激光而进行激光加工，其中，该激光加工系统具有：A、波长可变激光装置，其输出所述脉冲激光，并且能够使所述脉冲激光的波长发生变化；B、光学系统，其对所述被加工物照射从所述波长可变激光装置输出的所述脉冲激光；C、基准波长取得部，其取得与基于所述被加工物的材料的光子吸收对应的基准波长；D、激光加工控制部，其对所述波长可变激光装置进行控制，在对所述被加工物实施主加工之前执行预加工，并且一边使所述波长可变激光装置输出的所述脉冲激光的波长在包含所述基准波长的规定范围内变化，一边按照多个波长执行波长搜索用预加工；E、加工状态计测器，其计测按照多个波长进行的所述波长搜索用预加工的每个波长的加工状态；以及F、最佳波长确定部，其对每个波长的所述加工状态进行评价来确定用于所述主加工的最佳波长。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于极光先进雷射株式会社，未经极光先进雷射株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780073789.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
