[发明专利]波导光电器件在审

专利信息
申请号: 201780074560.3 申请日: 2017-12-01
公开(公告)号: CN110325900A 公开(公告)日: 2019-10-11
发明(设计)人: H.阿贝戴斯尔;D.莱罗塞;A.S.纳格拉;余国民 申请(专利权)人: 洛克利光子有限公司
主分类号: G02F1/025 分类号: G02F1/025
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 俞华梁;陈岚
地址: 英国*** 国省代码: 英国;GB
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摘要: 一种包括肋形波导区域的波导光电器件,以及制造肋形波导区域的方法,所述肋形波导区域具有:基部,所述基部由第一材料形成;以及脊,所述脊从所述基部延伸,所述脊的至少一部分由不同于所述基部的所述材料的所选取半导体材料形成,其中所述硅基部包括位于所述脊的第一侧的第一平板区域和位于所述脊的第二侧的第二平板区域;并且其中:第一掺杂区域沿着所述第一平板区域并沿着所述脊的第一侧壁延伸,所述第一侧壁接触所述第一平板区域;并且第二掺杂区域沿着所述第二平板区域并沿着脊的第二侧壁延伸,所述第二侧壁接触所述第二平板区域。
搜索关键词: 平板区域 肋形波导 基部 掺杂区域 第二侧壁 第一侧壁 光电器件 波导 半导体材料 第一材料 基部延伸 延伸 硅基 制造
【主权项】:
1.一种波导光电器件,其包括肋形波导区域,所述肋形波导区域具有:硅基部,以及脊,所述脊从所述基部延伸,所述脊的至少一部分由不同于所述基部的材料的所选取半导体材料形成;其中所述硅基部包括位于所述脊的第一侧的第一平板区域和位于所述脊的第二侧的第二平板区域;并且其中:第一掺杂区域沿着所述第一平板区域并沿着所述脊的第一侧壁延伸,所述第一侧壁接触所述第一平板区域;并且第二掺杂区域沿着所述第二平板区域并沿着所述脊的第二侧壁延伸,所述第二侧壁接触所述第二平板区域。
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