[发明专利]波形分析装置、及波形分析方法有效
申请号: | 201780076418.2 | 申请日: | 2017-12-04 |
公开(公告)号: | CN110073482B | 公开(公告)日: | 2023-07-28 |
发明(设计)人: | 玉造大悟 | 申请(专利权)人: | 日商乐华股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;G01H3/00;G01H17/00 |
代理公司: | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人: | 刘卓然 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 提供一种波形分析方法、波形分析装置,其中,可通过指定构成机械装置的部件中的已劣化的部件,在今后防止机械装置的故障造成的停止、动作中的破损事故,并且可进行良好效率的维修作业。波形分析装置(30)包括:信号分析部(31),其对从检测机械装置的物理的现象的传感器(28)而发送的信号进行高速傅里叶变换处理;脉冲抽取部(32),其抽取从通过信号分析部(31)而形成的频谱数据中抽取脉冲成分;显示部(35),其显示包括通过脉冲抽取部(32)而抽取的脉冲成分的波形数据;数据编辑部(33),其根据通过显示部(35)而显示的包括脉冲成分的波形的数据,编辑通过作业人员经由输入部(36)而选择的范围的波形数据,形成表示频率和时间与脉冲成分的强度的曲线图,将其显示于显示部(35)中。 | ||
搜索关键词: | 波形 分析 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种波形分析装置,该波形分析装置检测在机械装置的动作时产生的物理的现象,分析已检测到的信号的波形,其特征在于,该波形分析装置包括:信号分析部,该信号分析部对从检测上述物理的现象的传感器而发送的上述信号进行高速傅里叶变换处理;脉冲抽取部,该脉冲抽取部抽取从通过上述信号分析部而形成的频谱数据中抽取脉冲成分;显示部,该显示部显示包括通过上述脉冲抽取部而抽取的上述脉冲成分的波形数据;数据编辑部,该数据编辑部根据通过上述显示部而显示的包括上述脉冲成分的上述波形的数据,编辑通过作业人员经由输入部而选择的范围的上述波形的数据,形成表示频率和时间与脉冲成分的强度的曲线图,将其显示于显示部中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日商乐华股份有限公司,未经日商乐华股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201780076418.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造