[发明专利]声学微电子装置有效
| 申请号： | 201780078111.6 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN110100458B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 史蒂法纳·范格特;卡洛琳·库蒂埃;菲利普·罗伯特 | 申请（专利权）人： | 法国原子能源和替代能源委员会 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R31/00;B06B1/02 |
| 代理公司： | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 方挺;黄谦 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及声学微电子装置，该装置包括：支撑件(1)；至少一个膜(3)的一个组，该组膜通过锚固区域(31)悬置在腔室上方的支撑件(1)的表面(21)上；以及邻近膜(3)设置的至少一个隔音沟槽(62a，b，c，d；63a，b)，其特征在于，该装置包括至少一个桥(64)，所述至少一个桥(64)连接沟槽(62a，b，c，d；63a，b)的两个相对边缘的部分并且位于沟槽(62a，b，c，d；63a，b)的至少一个区域上方以在沟槽的所述区域中形成位于桥(64)下方的隔音井(65)。 | ||
| 搜索关键词： | 声学 微电子 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于法国原子能源和替代能源委员会，未经法国原子能源和替代能源委员会许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780078111.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：超细粉碎机
- 下一篇：一种基于同态加密的密文统计方法
