[发明专利]带电粒子束操纵装置有效
| 申请号： | 201780078315.X | 申请日： | 2017-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN110225802B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 奈杰尔·克罗斯兰;安得烈·麦克莱兰;菲尔·霍伊尔;伊恩·莱德勒 | 申请（专利权）人： | 信实精密电子有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/105 | 分类号： | B22F3/105;H01J37/302;H01J37/305 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 林强 |
| 地址： | 英国西*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种使用附加层制造来形成产品的方法。该方法包括将产品形成为一系列层，每个层通过使用带电粒子束扫描粉末床以熔化被沉积为粉末床的粉末来形成，以形成期望的层形状。针对每个层，粉末通过使用相对长程偏转器和相对短程偏转器的组合扫描带电粒子束来熔融粉末床的连续区域而被熔化，其中，相对长程偏转器与短程偏转器相比使得带电粒子束偏转更大偏转角度。还提供了相应的带电粒子光学组件，以及附加层制造装置。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 操纵 装置 | ||
【主权项】：
1.一种使用附加层制造来形成产品的方法，包括：将所述产品形成为一系列层，每个层通过使用带电粒子束扫描粉末床以熔化被沉积为所述粉末床的粉末来形成，以形成期望的层形状；其中，针对每个层，所述粉末通过使用相对长程偏转器和相对短程偏转器的组合扫描所述带电粒子束来熔融所述粉末床的连续区域而被熔化，其中，所述相对长程偏转器与所述短程偏转器相比使所述带电粒子束偏转更大偏转角度，其中，所述方法包括使用所述相对长程偏转器来设置所述带电粒子束在所述粉末床上的基准位置，并且使用所述相对短程偏转器来在由所述相对长程偏转器设置的所述基准位置周围扫描所述带电粒子束。
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