[发明专利]压力传感器元件和具备该压力传感器元件的压力传感器模块有效
| 申请号： | 201780079135.3 | 申请日： | 2017-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN110114650B | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 滨崎良平 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;H01L29/84 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 压力传感器模块的压力传感器元件具有：膜片，其具备导电性，当受到压力时变形；多个固定电极，所述多个固定电极分别具备与膜片相向的电极面；以及电介质膜，其设置在多个固定电极各自的电极面上。多个固定电极沿从膜片的中央朝向外侧的方向配置。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 元件 具备 模块 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器元件，具有：膜片，其具备导电性，当受到压力时变形；多个固定电极，所述多个固定电极分别具备与所述膜片相向的电极面；以及电介质膜，其设置在所述多个固定电极各自的电极面上，其中，所述多个固定电极沿从所述膜片的中央朝向外侧的方向配置。
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