[发明专利]负型感光性树脂组合物有效
| 申请号： | 201780079323.6 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN110088681B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 张娜;川岛正行 | 申请（专利权）人： | AGC株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004;G03F7/038;H01L51/50;H05B33/10;H05B33/12;H05B33/22 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种得到的分隔壁的显影密合性高且上表面具有良好的拒墨性、并且在点形成用的开口部显影残渣足够少的、负型感光性树脂组合物。一种负型感光性树脂组合物，其包含：具有光固化性官能团的碱溶性树脂(A)、包含在1分子中具有酸性基团和2个以上的光固化性官能团的多官能低分子量化合物(B1)的交联剂(B)、具有酸性基团和氟原子且酸值为10～100mgKOH/g的拒墨剂(C)、光聚合引发剂(D)和溶剂(E)。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种负型感光性树脂组合物，其包含：具有光固化性官能团的碱溶性树脂(A)、包含在1分子中具有酸性基团和2个以上的光固化性官能团的多官能低分子量化合物(B1)的交联剂(B)、具有酸性基团和氟原子且酸值为10～100mgKOH/g的拒墨剂(C)、光聚合引发剂(D)和溶剂(E)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于AGC株式会社，未经AGC株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780079323.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：双层感光层卷
- 下一篇：辐射源设备和方法、光刻设备和检查设备
