[发明专利]用于基于热的质量流量控制器(MFCS)的增强流量检测可重复性的方法及设备在审
| 申请号： | 201780079680.2 | 申请日： | 2017-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN110100218A | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 徐明;苏斯汉特·S·科希特;迈克尔·R·赖斯;史蒂文·E·巴巴扬;詹妮弗·Y·孙 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06;G01F1/76;G01F15/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 电子装置制造系统包括具有热流量传感器的质量流量控制器(MFC)。热流量传感器可测量质量流率并且可包括传感器管，所述传感器管具有涂覆有材料的内表面以形成内阻挡层。内阻挡层可防止或实质上减少在内表面上发生腐蚀性反应的可能性，此可防止或减少MFC漂移超出MFC的质量流率准确性规格的可能性。此可改善由MFC进行的流量检测的可重复性。亦提供了在电子装置制造系统中测量和控制质量流率的方法，其他方面也是如此。 | ||
| 搜索关键词： | 质量流率 质量流量控制器 热流量传感器 传感器管 可重复性 流量检测 内阻挡层 电子装置制造系统 漂移 测量和控制 设备电子 装置制造 可测量 内表面 涂覆 | ||
【主权项】：
1.一种质量流量控制器，包括：入口端口；出口端口；热流量传感器，所述热流量传感器经配置以测量流过所述质量流量控制器的气体的质量流率，所述热流量传感器具有传感器管，所述传感器管具有耦接到所述入口端口的输入端，所述传感器管亦具有输出端、内表面及外表面，所述内表面涂覆有材料以形成内阻挡层；流率控制阀，所述流率控制阀耦接在所述传感器管的所述输出端与所述出口端口之间，所述流率控制阀经配置以增加或减少流过所述质量流量控制器的所述气体的所述质量流率；及控制器，所述控制器经配置以接收来自所述热流量传感器的传感器信息及操作所述流率控制阀。
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