[发明专利]用于测量光学仪器的聚焦状态的系统和方法在审
| 申请号： | 201780080922.X | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN110121669A | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | L·西尔维斯特里;M·C·穆伦布罗伊希;L·萨科尼;F·S·帕瓦内 | 申请（专利权）人： | 欧洲非线性光谱实验室(LENS);国家研究委员会;佛罗伦萨大学 |
| 主分类号： | G02B7/34 | 分类号： | G02B7/34;G02B21/24 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 曾琳 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 描述了一种用于测量光学仪器(例如，显微镜)的聚焦状态的系统和方法。所述系统和方法提供为形成光学仪器的物镜的出射光瞳的像。在形成出射光瞳的像的地方，放置了一个或多个光学元件(例如，棱镜或反射镜)，所述一个或多个光学元件使来自出射光瞳的光线的至少一部分偏转，以使得来自光瞳的不同的非重叠部分的光线跟随分开的光路。来自光瞳的两个部分的光线然后被聚焦，以便获得两个二维像。计算机将这两个二维像之间的相互距离确定为这二者之间的相互刚性横向位移，并且基于该距离，确定光学仪器的对应的散焦。 | ||
| 搜索关键词： | 出射光瞳 光学仪器 测量光学 光学元件 聚焦状态 二维 光瞳 偏转 方法描述 刚性横向 距离确定 反射镜 非重叠 棱镜 光路 散焦 物镜 显微镜 聚焦 计算机 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量光学仪器(1)的聚焦状态的系统(6)，所述系统(6)包括：‑至少一个第一光学元件(7、8a、8b、8)，所述至少一个第一光学元件(7、8a、8b、8)被配置为形成所述光学仪器(1)的物镜(2)的出射光瞳(P)的像(P’)；‑至少一个第二光学元件(9、9a、9b、9’、12)，所述至少一个第二光学元件(9、9a、9b、9’、12)被基本上放置在形成所述出射光瞳(P)的所述像(P’)的地方，并且被配置为使来自所述出射光瞳(6)的光线的至少一部分偏转，以使得在所述出射光瞳(P)的所述像(P’)的下游，来自所述出射光瞳(P)的第一部分的第一光线(R1)和来自所述出射光瞳(P)的第二部分的第二光线(R2)跟随分开的光路，并且被聚焦到两个二维像(IM1、IM2)中，所述出射光瞳(P)的所述第一部分和所述第二部分是不重叠的；以及‑计算机(13)，所述计算机(13)被配置为将所述两个二维像(IM1、IM2)之间的相互距离(Y)确定为所述两个二维像(IM1、IM2)之间的相互刚性横向位移，并且基于所述相互距离(Y)，确定所述光学仪器(1)的对应的散焦。
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