[发明专利]压力传感器有效
| 申请号： | 201780081783.2 | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN110168335B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 枥木伟伸;石原卓也;添田将;关根正志 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种即使在相对较小的压力下，也能以更高的精度检测压力的压力传感器。在可动区域(121)的外侧具备限制膜片(102)位移的参考区域(122)。在参考区域(122)中，膜片(102)与基台(101)的间隔不发生变化。在膜片(102)的参考区域(122)中配置有第1参考电极(106)。另外，在面向第1参考电极(106)的位置的基台(101)上形成有第2参考电极(107)。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，其特征在于，具备：基台；膜片，其具有与所述基台的表面分离并面向所述基台的相对面；第1电极，其被设置在所述膜片的面向所述基台的相对面中的、所述膜片能够位移的可动区域的内侧；第2电极，其被设置在所述基台的表面并面向所述第1电极；第1参考电极，其被设置在所述膜片的所述相对面中的、所述可动区域的外侧的、限制所述膜片位移的参考区域；以及第2参考电极，其被设置在所述基台的表面并面向所述第1参考电极。
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