[发明专利]用于使用微光学平台组件对具有面内光轴的光学MEMS结构进行批量测试的集成光学探针卡和系统有效
| 申请号： | 201780081876.5 | 申请日： | 2017-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN110140038B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | B·萨达尼;M·梅德哈特;M·纳吉;A·什布尔;Y·M·萨布里;B·莫塔达;D·卡里尔 | 申请（专利权）人： | 斯维尔系统 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01R31/311;G02B5/04 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱;傅远 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的各方面涉及一种用于执行具有面内光轴的光学微机电系统(MEMS)结构的晶片测试的集成光学探针卡和系统。可以利用一个或多个微光学平台组件来执行光学MEMS结构的晶片上光学屏蔽，以在垂直于面内光轴的面外方向与平行于面内光轴的面内方向之间重定向光以便能够通过光的竖直注入来测试光学MEMS结构。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 使用 微光 平台 组件 具有 光轴 光学 mems 结构 进行 批量 测试 集成 探针 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于批量测试光学MEMS结构的集成光学探针卡，包括：源，被配置为生成输入光束并且朝向光学MEMS结构提供所述输入光束，其中光学MEMS结构包括面内光轴，其中所述输入光束在垂直于所述面内光轴的面外方向上传播；检测器，被光学耦合以从所述光学MEMS结构接收输出光束，其中所述输出光束在所述面外方向上传播；以及微光学平台组件，被光学耦合以在所述面外方向与面内方向之间重定向所述输入光束和所述输出光束，其中所述面内方向包括所述光学MEMS结构的所述面内光轴。
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