[发明专利]适用于使用在光电装置中的层系统以及用于以连续卷绕式工艺制造层系统的方法在审
| 申请号： | 201780082571.6 | 申请日： | 2017-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN110168134A | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 尼尔·莫里森;乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波;海克·兰特格雷夫;斯蒂芬·海因;托比亚斯·斯托利 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C16/02 | 分类号： | C23C16/02;C23C16/40;C23C16/54;C23C28/04;G06F3/044;H01L51/50 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在此描述一种适用于使用在光电装置中的层系统(100)。该层系统包含柔性基板(101)、设置在柔性基板(101)上的平面化层(110)和设置在平面化层(110)上的透明导电氧化物层(120)，其中平面化层(110)构造成包覆柔性基板(101)上的多个缺陷，且其中平面化层构造成共价结合到柔性基板的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 平面化层 柔性基板 光电装置 透明导电氧化物层 连续卷绕式 工艺制造 共价结合 包覆 | ||
【主权项】：
1.一种适用于使用在光电装置中的层系统(100)，包括：柔性基板(101)，平面化层(110)，设置在所述柔性基板(101)上，以及透明导电氧化物层(120)，设置在所述平面化层(110)上，其中所述平面化层(110)构造成包覆所述柔性基板(101)上的多个缺陷，且其中所述平面化层构造成共价结合到所述柔性基板的表面。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
