[发明专利]包括垂直对置电容器对的阵列及其形成方法有效
| 申请号： | 201780082601.3 | 申请日： | 2017-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN110168727B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | A·A·恰范;D·V·N·拉马斯瓦米 | 申请（专利权）人： | 美光科技公司 |
| 主分类号： | H10B12/00 | 分类号： | H10B12/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 王龙 |
| 地址： | 美国爱*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种形成包括垂直对置电容器对的阵列的方法，其包括：在支撑材料中的个别电容器开口中形成导电衬里。移除所述导电衬里中的个别者的竖向中间部分，以在所述个别电容器开口中形成彼此竖向分离及间隔的上电容器电极衬里及下电容器电极衬里。使电容器绝缘体形成于所述上及下电容器电极衬里的横向外。使导电材料形成于所述电容器绝缘体的横向外，以构成由所述垂直对置电容器对中的个别者中的垂直对置的电容器共享的共享电容器电极。揭示独立于制造方法的其它方法及结构。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 垂直 电容器 阵列 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种形成包括垂直对置电容器对的阵列的方法，其包括：在支撑材料中的个别电容器开口中形成导电衬里；移除所述导电衬里中的个别者的竖向中间部分，以在所述个别电容器开口中形成彼此竖向分离且间隔的上电容器电极衬里及下电容器电极衬里；使电容器绝缘体形成于所述上及下电容器电极衬里的横向外；及使导电材料形成于所述电容器绝缘体的横向外，以包括由所述垂直对置电容器对中的个别者中的垂直对置的电容器共享的共享电容器电极。
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