[发明专利]用来判断在样本堆叠中的层厚度的方法及组件

摘要

一种用来判断样本堆叠层的一层或多层的厚度、或判断其他影响光的强度的性质的方法，所述光被包含组件的样本堆叠反射，所述组件包含有用来照射样本堆叠层的光源、及具有检测器的相机，该检测器用以检测在限定的波长范围内，由样本堆叠层所反射的光的强度，所述方法包含以下步骤，以来自光源的光照射样本堆叠层；在不同的波长范围内，以检测器来检测反射自样本堆叠层的光的强度；由检测器所检测到的强度来判断厚度或其他性质；其特征在于，检测器为阵列检测器，其具有呈行列排列的数个检测元件；样本堆叠层的图像被产生在检测器上；检测器包含有呈平行条纹形式的数个区域，所述条纹同时检测由样本堆叠层所反射的光的强度；检测器的每一区域仅检测选定的波长范围中的光；在垂直于平行条纹的纵向的方向上，产生在检测器或平行条纹上的样本堆叠层的图像的运动，使得被检查的样本堆叠层的每个点在每个不同的波长范围内被检测到至少一次。

主权项

1.一种用来判断样本堆叠层(700，702)的一层或多层的厚度、或判断其他影响光(706)的强度的性质的方法，所述光被包含组件的样本堆叠反射，所述组件包含有用来照射样本堆叠层(700，702)的光源(710)、及具有检测器(800)的相机，该检测器用以检测在限定的波长范围(340，350，360，370，380，390)内，由样本堆叠层(700，702)所反射的光(706)的强度，所述方法包含以下步骤：(a)以来自光源(710)的光(703，704，50)照射样本堆叠层(700，702)；(b)在不同的波长范围(340，350，360，370，380，390)内，以检测器(800)来检测反射自样本堆叠层(700，702)的光(706)的强度；(c)由检测器(800)所检测到的强度来判断厚度或其他性质；其特征在于：(d)检测器(800)为阵列检测器，其具有呈行列排列的数个检测元件；(e)样本堆叠层(700)的图像被产生在检测器(800)上；(f)检测器(800)包含有呈平行条纹(761，762，763，764，765，766)形式的数个区域，所述条纹同时检测由样本堆叠层所反射的光的强度；(g)检测器(800)的数个区域(761，762，763，764，765，766)中的每一区域仅检测一个选定的波长范围(340，350，360，370，380，390)中的光；(h)在垂直于平行条纹(761，762，763，764，765，766)的纵向方向的方向上，产生在检测器(800)或平行条纹上的样本堆叠层(700)的图像的运动，使得被检查的样本堆叠层的每个点在每个不同的波长范围(340，350，360，370，380，390)内被检测到至少一次。