[发明专利]溅镀沉积期间的颗粒减少有效
| 申请号： | 201780083045.1 | 申请日： | 2017-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN110402301B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·格雷戈里·库伊拉德;明煌·黄 | 申请（专利权）人： | 康宁公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/56;C03B35/20;C03C17/00;H01L21/67;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;吴启超 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本文描述用于将基板支托在位的设备和方法，以当涂布基板时，最小化基板的颗粒污染。连同设备一起提供减少基板上颗粒减少的工艺。所述物件和工艺可用于制造涂覆玻璃基板，例如用于电致变色、光致变色或光伏技术。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 期间 颗粒 减少 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于康宁公司，未经康宁公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780083045.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
