[发明专利]用于倒置磁控管冷阴极电离计的阳极电极屏蔽件有效
| 申请号： | 201780083316.3 | 申请日： | 2017-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN110192265B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | G·A·布鲁克;T·C·斯文尼 | 申请（专利权）人： | 万机仪器公司 |
| 主分类号： | H01J41/06 | 分类号： | H01J41/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 师玮;黄纶伟 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种冷阴极电离计(CCIG)包括延伸的阳极、沿着所述阳极的一段围绕所述阳极的阴极以及支承所述阳极的馈通绝缘体。所述阴极在所述阳极周围形成放电空间，使得能够在所述阳极与所述阴极之间形成等离子体以及所产生的流入所述阴极的离子电流。所述CCIG还包括磁体，所述磁体施加贯穿所述放电空间的磁场，以延长自由电子路径来维持所述等离子体。屏蔽件与所述绝缘体电隔离并且将所述绝缘体屏蔽以免受所述等离子体的电子的影响。所述屏蔽件可以安装至所述阴极并且围绕所述阳极并与所述阳极隔开。电控制器在所述阳极与所述阴极之间施加电压以在所述阳极与所述阴极之间利用等离子体放电产生电离，所述控制器基于测得的流向所述阴极的离子电流来确定压力。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 倒置 磁控管冷 阴极 电离 阳极 电极 屏蔽 | ||
【主权项】：
1.一种冷阴极电离计(CCIG)，该冷阴极电离计包括：延伸的阳极；阴极，所述阴极沿着所述阳极的一段围绕所述阳极，所述阴极在所述阳极周围形成放电空间，使得能够在所述阳极与所述阴极之间形成等离子体以及所产生的流入所述阴极的离子电流；磁体，所述磁体施加贯穿所述放电空间的磁场，以延长自由电子路径来维持所述等离子体；馈通绝缘体，所述馈通绝缘体支承所述阳极；屏蔽件，所述屏蔽件安装至所述阴极并且围绕所述阳极并与所述阳极隔开，所述屏蔽件与所述绝缘体电隔离并且将所述绝缘体屏蔽以免受所述等离子体的电子的影响；以及电控制器，所述电控制器在所述阳极与所述阴极之间施加电压，以在所述阳极与所述阴极之间利用等离子体放电产生电离，所述控制器基于测得的流向所述阴极的离子电流来确定压力。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于万机仪器公司，未经万机仪器公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780083316.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
