[发明专利]具有双平衡线性混频器的射频检测器及相应的操作方法

摘要

提供RF检测器，并且其包括LO路径和RF路径、混频器和滤波器。LO路径包括第一缓冲器和正弦波至方波转换器。第一缓冲器接收第一RF信号，该第一RF信号基于由RF检测器接收的RF输入信号。在衬底处理系统内检测RF输入信号。正弦波至方波转换器将第一RF信号的正弦波转换为方波，并输出具有方波的LO信号。RF路径包括接收第二RF信号并输出RF输出信号的第二缓冲器。第二RF信号基于RF输入信号。混频器根据LO和RF输出信号产生IF信号。滤波器对IF信号进行滤波以产生DC信号，该DC信号代表第二RF信号。

主权项

1.一种射频检测器，其包括：本地振荡器路径，其包括第一缓冲器，其用于接收第一射频信号，其中所述第一射频信号基于由所述射频检测器接收的射频输入信号，并且其中所述射频输入信号由在衬底处理系统中的所述射频检测器检测，和正弦波至方波转换器，其用于将第一射频信号的正弦波转换为方波，并输出具有所述方波的本地振荡器信号；包括第二缓冲器的射频路径，其中所述第二缓冲器用于接收第二射频信号并输出射频输出信号，并且其中所述第二射频信号基于所述射频输入信号；混频器，其用于基于所述本地振荡器信号和所述射频输出信号产生中间频率信号；和滤波器，其用于对所述中间频率信号进行滤波，以产生第一直流信号，其中所述第一直流信号代表所述第二射频信号。