[发明专利]气体传感器MEMS结构及其制造方法在审
| 申请号： | 201780083524.3 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN110462377A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 恩里克·玛瑞利;马西莫·布鲁诺·克里斯蒂亚诺·阿里奥图;李正国;科斯塔斯·约翰·斯潘诺斯;钱友 | 申请（专利权）人： | 新加坡国立大学;加利福尼亚大学董事会 |
| 主分类号： | G01N21/3504 | 分类号： | G01N21/3504;G01N21/61;G01N21/01 |
| 代理公司： | 44414 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王丽<国际申请>=PCT/SG2017/ |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 一种气体传感器，一种制造气体传感器的方法，一种制造用于加热器或热电堆的微机电系统(MEMS)管芯的方法，以及一种用于加热器或热电堆的微机电系统(MEMS)管芯。所述气体传感器包括：第一微机电系统(MEMS)管芯，其包括光源；第二MEMS管芯，其包括光检测器；样品室，其设置在所述光源和所述光检测器之间的光路中；以及保持器衬底。其中，所述第一MEMS管芯和所述第二MEMS管芯在相对于所述保持器衬底的垂直方向上被设置在所述保持器衬底上。 | ||
| 搜索关键词： | 管芯 气体传感器 微机电系统 保持器 衬底 加热器 光检测器 热电堆 光源 样品室 光路 制造 | ||
【主权项】：
1.一种气体传感器，包括：/n第一微机电系统(MEMS)管芯，其包括光源；/n第二MEMS管芯，其包括光检测器；/n样品室，其设置在所述光源和所述光检测器之间的光路中；以及/n保持器衬底；/n其中，所述第一MEMS管芯和所述第二MEMS管芯在相对于所述保持器衬底的垂直方向上被设置在所述保持器衬底上，并且所述样品室在所述第一MEMS管芯和所述第二MEMS管芯之间横向设置。/n
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