[发明专利]基板处理装置及基板处理方法

摘要

本发明提供一种减少附着于杯体的异物再次附着于基板的情况的技术。本发明的基板处理装置(1)具有上杯体部(32)，该上杯体部(32)具有形成为可将保持于基板保持部(10)的基板(W)包围的筒状的第一筒状部(321)及第二筒状部(322)，且第二筒状部(322)与第一筒状部(321)的上侧连结。另外，基板处理装置(1)具有杯体移动部(36)，该杯体移动部(36)通过使上杯体部(32)在铅直方向上移动，来使上杯体部(32)分别在第一筒状部(321)包围基板(W)的位置以及第二筒状部(322)包围基板(W)的位置停止。

主权项

1.一种基板处理装置，用于对基板进行处理，其特征在于，具有：基板保持部，将基板以水平姿势保持，且绕与铅直方向平行的旋转轴线进行旋转；旋转驱动部，使所述基板保持部旋转；杯体部，具有形成为能将保持于所述基板保持部的所述基板包围的筒状的第一筒状部及第二筒状部，所述第二筒状部与所述第一筒状部的铅直方向的一侧连结；处理部，通过向保持于所述基板保持部的所述基板供给处理液，来对该基板进行处理；以及相对移动机构，通过使所述杯体部相对于所述基板保持部而在铅直方向上相对移动，来使所述杯体部分别在第一相对位置以及第二相对位置停止，所述第一相对位置为所述第一筒状部包围保持于所述基板保持部的所述基板的位置，所述第二相对位置为所述第二筒状部包围保持于所述基板保持部的所述基板的位置。