[发明专利]可调谐标准具设备和成像设备

摘要

本发明涉及可调谐标准具设备和成像设备。可调谐MEMS标准具设备包括：前镜和后镜，前镜和后镜在初始预应力未致动标准具状态下通过间隙分开，间隙具有由后挡块结构确定的预应力未致动间隙尺寸，其中后挡块与前镜和后镜物理接触，标准具结构被配置为至少呈现一个致动状态，致动状态下间隙具有大于预应力未致动间隙尺寸的致动间隙尺寸间隙；锚结构，框架结构，框架结构在面对入射光的第一表面处固定连接到前镜，以及附接到锚结构和框架结构但未附接到前镜的挠曲结构，以及将锚结构从后镜分离的间隔结构，其中前镜和间隔结构形成在同一单层玻璃层中。

主权项

1.一种可调谐标准具设备，其特征在于，所述设备包括前镜和后镜，在初始预应力未致动状态下，所述前镜和所述后镜通过具有预应力未致动间隙尺寸的间隙分开，所述标准具被配置为呈现至少一个致动状态，在所述致动状态中，所述间隙具有大于所述预应力未致动间隙尺寸的致动间隙尺寸间隙。