[发明专利]垂直基板固持器

摘要

本文说明用于将基板固持在接近垂直的位置中的设备，其中所述设计最小化基板下陷(substrate sag)，同时允许基板在变化的热条件下膨胀与收缩。设备最小化基板上的应力，在基板经受涂布与其他热处理的同时防止基板断裂或受损。

主权项

1.一种物件，包含：框架，所述框架用于在薄膜沉积系统中将基板固持在一大略垂直配置中，所述薄膜沉积系统包含涂布装置，所述框架在尺寸上大于所述基板，且其中所述基板具有至少一正面、背面、与至少一个边缘；所述框架包含：a)平坦框架部与通道部，其中在所述物件位于所述薄膜沉积系统中时，所述平坦框架部被定位在所述涂布装置与所述基板的至少部分之间，且所述通道部被定位为邻接所述至少一个基板边缘；i.所述平坦框架部包含保护性间隔垫，所述保护性间隔垫在所述正面上接触所述基板，所述保护性间隔垫包含将不会刮伤所述基板的所述表面的材料；和两个或更多个夹具，包含：a)缓冲器，所述缓冲器在所述背面上接触所述基板，所述缓冲器包含将不会刮伤所述基板的所述表面的材料；b)刚性悬臂，所述刚性悬臂将所述通道部直接或间接地连接至所述缓冲器；和c)施力张紧器机构，所述施力张紧器机构在所述基板上提供小于25N的反作用力；其中所述物件被设计以使得在基板位于所述框架中时，所述基板被固持于一角度φ，所述角度φ是从大于0°至约10°前倾，所述基板并在经受热变异的同时经历小于100MPa的最大主要应力，所述热变异在从0℃至400℃的范围中从1°/分钟至40°/分钟。