[发明专利]通过和频振动光谱对样品的扫描表面成像的表面感测系统和方法有效
| 申请号： | 201780085966.1 | 申请日： | 2017-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN110546483B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | J·H·亨特;J·史;J·P·尚加拉 | 申请（专利权）人： | 波音公司;菲拓梅里克斯公司 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;G01J3/10;G01N21/63 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 尚晓芹 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了通过和频振动光谱对样品(30)的扫描表面(32)成像的表面感测系统和方法。系统包括样品支架(20)、可见光源(40)和可调节IR光源(50)，可见光源配置为引导可见光束(42)入射在扫描表面(32)的采样位置(34)上，可调节IR光源配置为引导可调节IR光束(52)与可见光束(42)在采样位置(34)上重合。系统还包括扫描结构(60)和滤光器(70)，扫描结构配置为横跨扫描表面(32)扫描可见光束(42)和可调节IR光束(52)，滤光器配置为从扫描表面(32)接收发射光束(38)并且对发射光束(38)滤光以生成滤光光束(72)。系统进一步包括光检测系统(80)和对准结构(90)，光检测系统配置为接收滤光光束(72)。方法包括操作该系统的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 振动 光谱 样品 扫描 表面 成像 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于对样品的扫描表面成像的表面感测系统，所述系统包括：/n样品支架，其包括配置为支撑所述样品的支撑表面；/n可见光源，其配置为当所述样品被所述支撑表面支撑时引导可见光束入射在所述扫描表面上的采样位置上；/n可调节红外(IR)光源，其配置为当所述样品被所述支撑表面支撑时引导可调节IR光束与入射在所述扫描表面上的所述采样位置上的所述可见光束重合，其中所述可调节IR光源进一步配置为选择性地改变所述可调节IR光束的波长以允许所述可调节IR光束选择性地在位于所述扫描表面上的成像结构内引起共振；/n扫描结构，其配置为横跨所述扫描表面扫描所述可见光束和所述可调节IR光束以选择性地改变限定所述采样位置的所述扫描表面的一部分；/n滤光器，其配置为从所述扫描表面接收发射光束，所述发射光束包括所述可见光束和所述可调节IR光束之间的和频信号，并且对所述发射光束进行滤光以生成滤光光束，其中响应于所述可见光束和所述可调节IR光束二者入射在所述扫描表面上所述发射光束从所述扫描表面发射；/n光检测系统，其配置为从所述滤光器接收所述滤光光束；和/n对准结构，其配置为可操作地对准所述可见光源、所述可调节IR光源、所述样品支架、所述光检测系统和所述滤光器中的至少两个。/n
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