[发明专利]用于微波等离子体辅助沉积的模块化反应器

摘要

本发明涉及一种用于制造合成金刚石的微波等离子体辅助沉积模块化反应器(1)，所述反应器的特征在于它包括至少三个调制元件，所述调制元件选自：‑冠部(450)，适于定位在第一外壳部分(430)和第二外壳部分(440)之间；‑基质保持器模块(500)，能够垂直平移和旋转移动，与四分之一波(501)接触并包括至少一个流体冷却系统(520)；‑托盘(900)，能够垂直平移移动，以改变所述谐振腔(41)的形状和体积，并包括允许气体通过的通孔(911)；‑气体分配模块(100)，包括可移除的气体分配板(110)和支撑装置(120)，所述可移除的气体分配板包括内表面(111)、外表面(112)和在所述表面(111,112)之间形成能够传导气体流的通道的多个气体分配喷嘴(113)，所述支撑装置连接到冷却系统并适于容纳所述可移除的气体分配板(110)；和‑基质冷却控制模块(300)，包括可移除的热阻气体注入装置(330)。

主权项

1.一种用于制造合成金刚石的微波等离子体辅助模块化沉积反应器(1)，所述反应器包括：微波发生器(70)，被配置为产生微波，所述微波的频率在300MHz至3000MHz的范围内，谐振腔(41)，至少部分地由反应器外壳(400)的柱形内壁(420)形成，气体进入系统(10)，能够在所述谐振腔(41)内供应气体，气体输出模块(60)，能够从所述谐振腔(41)去除所述气体，波耦合模块(80)，能够将所述微波从所述微波发生器(70)传递到所述谐振腔(41)，以允许形成等离子体，以及生长支撑件(51)，存在于所述谐振腔(41)中，所述模块化反应器的特征在于它包括至少三个调制元件，所述调制元件选自：冠部(450)，其适于定位在第一外壳部分(430)和第二外壳部分(440)之间，以便改变所述谐振腔(41)的形状和/或体积，且允许外壳的壁的电连续性和真空密封性的密封系统(460)分别设置在冠部(450)与外壳(400)的第一外壳部分(430)和第二外壳部分(440)之间；基质保持器模块(500)，能够垂直平移地和旋转地移动，与四分之一波(501)接触并包括至少一个流体冷却系统(520)；托盘(900)，能够垂直平移移动，以改变所述谐振腔(41)的形状和体积，并包括允许气体通过的通孔(911)；气体分配模块(100)，包括：可移除的气体分配板(110)，包括内表面(111)、外表面(112)和在所述表面(111,112)之间形成能够传导气体流的通道的多个气体分配喷嘴(113)，和支撑装置(120)，连接到冷却系统并适于容纳所述可移除的气体分配板(110)；和基质冷却控制模块(300)，包括可移除的热阻气体注入装置(330)，所述可移除的热阻气体注入装置(330)包括一个或多个热阻气体输入部(333)和一个或多个热阻气体输出部(331)。