[发明专利]使用经预测的计量图像的计量配方产生

摘要

一种计量系统包含通信地耦合到计量工具的控制器。所述控制器可：产生样本的三维模型；基于所述三维模型产生对应于运用所述计量工具对所述样本进行的经预测分析的经预测的计量图像；评估用于从所述一或多个经预测的计量图像提取计量测量的两个或两个以上候选计量配方；基于一或多个选择计量从用于从来自所述计量工具的结构的图像提取计量测量的所述两个或两个以上候选计量配方选择计量配方；基于经制造结构的计量测量从所述计量工具接收所述经制造结构的输出计量图像；及基于所述计量配方从所述输出计量图像提取与所述经制造结构相关联的所述计量测量。

主权项

1.一种计量系统，其包括：控制器，其包含经配置以执行指令的一或多个处理器，所述指令经配置以引起所述一或多个处理器：产生包含待通过所述计量工具分析的样本的一或多个例子的样本的三维模型；基于所述三维模型产生对应于运用计量工具对所述样本进行的经预测分析的一或多个经预测的计量图像，其中所述经预测的计量图像包含与基于运用所述计量工具对所述样本进行的所述经预测分析的所述三维模型的二维投影的经预测偏差；评估用于从所述一或多个经预测的计量图像提取计量测量的两个或两个以上候选计量配方；基于一或多个选择指标从用于从来自所述计量工具的结构的图像提取计量测量的所述两个或两个以上候选计量配方选择计量配方；基于经制造结构的计量测量从计量工具接收所述经制造结构的输出计量图像；及基于所述计量配方从所述输出计量图像提取与所述经制造结构相关联的所述计量测量。