[发明专利]带电粒子束装置在审
| 申请号： | 201780086263.0 | 申请日： | 2017-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN110383414A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 佐藤龙树;扬村寿英;野间口恒典 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/05;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;金成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 带电粒子束装置具备：带电粒子束源，其放出一次带电粒子束；物镜，其使一次带电粒子束聚焦于试样上；通道电极，其设置于带电粒子束源与物镜的前端之间且由金属部件构成；检测器，其检测从试样放出的二次带电粒子；以及静电场电极，其与通道电极电绝缘，通道电极形成为供一次带电粒子束穿过该通道电极的内侧，静电场电极形成为覆盖通道电极的外周。 | ||
| 搜索关键词： | 通道电极 一次带电粒子束 带电粒子束装置 带电粒子束 静电场电极 物镜 检测器 二次带电粒子 金属部件 电绝缘 外周 聚焦 穿过 检测 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：带电粒子束源，其放出一次带电粒子束；物镜，其使上述一次带电粒子束聚焦于试样上；通道电极，其设置于上述带电粒子束源与上述物镜的前端之间且由金属部件构成；第一检测器，其检测从上述试样放出的二次带电粒子；以及静电场电极，其与上述通道电极电绝缘，上述通道电极形成为供上述一次带电粒子束穿过该通道电极的内侧，上述静电场电极形成为覆盖上述通道电极的外周。
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